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热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、性高的技术，其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），当这两个RTD被置于流体中时，其中一个被加热，另一个用于感应过程温度。两个RTD之间的温差与过程流速及过程介质的性质有关，保持该温差恒定，则电子单元加热RTD的能量与质量流量成函数关系。
性能指标
测量性能
精度：±1%的读数或±0.25%的满量程
调试：按NIST计量标准标定
重复性：±0.2%满量程
响应时间：0.9秒
操作性能
测量单位
SCFM，SCFH，Nm3H，SLPM，KB/HR，LBS/M，SFPM，SFPS，NMPS.可选
流量范围
插入式：0-163Nmps（标米每秒）
0-32，000sfpm（标英尺每分）
管径
Scfm
Nm3/h
3¨(80mm)
0-1600
0-2720
6¨(150mm)
0-6400
0-10870
8¨(200mm)
0-11100
0-18860
10¨(250mm)
0-18200
0-30920
12¨(300mm)
0-24900
0-42300
16¨(400mm)
0-43350
0-73700
20¨(500mm)
0-67700
0-115150
判断插入式流量可以满足要求，将较大流量除以管道横截面积，看流速在要述范围内。以下是常用管道的流量范围。
